在工業硅和硅鐵生產中用布袋除塵器從電爐煙氣中收得的煙塵一般稱為微硅粉，其粒度極細，成分以氧化硅為主，密度小，比電阻大，粘結性強，附著力大，不易沉降。隨著工業硅和硅鐵產量的增加，微硅粉的生成量也越來越大，據估計，我國微硅粉潛在資源每年在40萬t以上，但國內不少廠家沒有除塵回收裝置，大量微硅粉由于沒有回收，到處飄逸，嚴重污染環境