微硅粉的歷史相對較短，1952年第一次有記錄的微硅粉在波特蘭水泥中的實驗. 直到上世紀七十年代，含有微硅粉的混凝土的應用還非常有限。當時可供實險用的微硅粉太少，阻礙了人們進一步發掘微硅粉的使用潛力及獨特屬性。早期的研究是使用一種叫“白炭黑”的昂貴添加劑，它是在氫氧爐中燃燒四氯化硅而得到的膠狀的二氧化硅。而微硅粉則是一種副產品，粒徑非常細小的火山灰材料，產自于電弧爐生產金屬硅或硅鐵合金過程中的結晶二氧化硅。在上世紀六十年代晚期以前的歐洲，以及七十年代中期以前的美國，微硅粉都是作為煙塵排放到空氣中。（現在有好多工廠把微硅粉稱為“除塵灰”）

隨著七十年代中期更加嚴苛的環保法律的施行，金屬硅冶煉廠開始捕集微硅粉，而不是簡單地作為垃圾填埋。自此，開發微硅粉用途的壓力才真正顯現。早期挪威的發現引起了人們的注意，他們的研究顯示含微硅粉的混凝土有非常高的強度和低孔隙。這成為微硅粉最早、使用量最大的用途之一。數十年來，微硅粉的使用不斷發展，它已成為世界上最有價值及功能多樣的水泥及混凝土添加劑。在其它領域也繼續拓展，廣泛應用于數十個領域，而且還在不斷增加。